SPA6100半導體參數分析儀
SPA6100半導體參數分析儀具有高精度、寬測量范圍、 快速靈活、兼容性強等優勢，產品可以同時支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試。
基于模塊化的結構設計,可以幫助用戶根據測試需要,靈活選配測量單元進行升級。產品支持最高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量,同時檢測10kHz至1MHz范圍內的多頻AC電容測量。
搭載專用半導體參數測試軟件,支持交互式手動操作或結合探針臺的自動操作,能夠從測量設置、執行、結果分析到數據管理的整個過程，實現高效和可重復的器件表征；也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測試需求。
產品特點
● 30μV-1200V，1pA-100A 寬量程測試能力
● 測量精度高，全量程下可達0.03%
● 內置標準器件測試程序，直接調用測試簡便
● 自動實時參數提取、 數據繪圖、分析函數
● 在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線
● 提供靈活的夾具定制方案，兼容性強
● 免費提供上位機軟件及SCPI指令集
應用場景及測試參數
1、納米材料：電阻率、載流子遷移率、載流子濃度、霍爾電壓
2、柔性材料：拉伸/扭轉/彎折、V-t、I-t、R-t、電阻率、靈敏度
3、IC芯片：O/S、IIH/IIL、VOH/VOL、I/O Pin IV曲線
4、分立器件：BVDSS/IGSS/IDSS/Vgs(th)/Rdson、Ciss/Coss/Crss、輸出/轉移/CV曲線等
5、光電探測器：暗電流ID、結電容Ct、反向擊穿電壓VBR、響應度R
6、鈣鈦礦電池：VOC、ISC、Pmax、Vmax、Imax、FF、η、Rs、Rsh
7、LD/LED/OLED：Iop、Popt、VF、Ith、VR、IR、LIV/IVL曲線
8、傳感器/憶阻器：V-t、I-t、R-t、直流/脈沖/交流IV測試
特色優勢
1、模塊化配置：可靈活配置多種測量單元，預留升級空間，方便后期升級
2、圖形化界面：內置常用器件模板，可直接調用，并且支持輸出三種模式測試報告
3、自動化測試：內嵌低漏電矩陣開關，可自動切換測試電路，實現一鍵測試功能
4、夾具可定制：支持二極管、三極管、Si及SiC MOS管、IGBT等器件
5、多設備聯動：可與探針臺、溫控模塊等搭配使用，溫控范圍：室溫~250℃
加快半導體材料、芯片器件設計以及先進工藝的開發驗證
1、支持直流、脈沖I-V測試
2、內置專業矩陣開關，提高測試效率
3、可與多種設備聯動使用：晶圓級芯片性能測試需要與探針臺聯動，可靠性評估會涉及常溫以及高低溫等條件
4、三同軸線纜提升小電流測試精度
圖形化軟件界面
配合普賽斯自主開發的專業測試軟件，SPA6100可輕松實現半導體材料，器件的參數測試。系統內置常用器件模板，如二極管， 三極管，MOSFET。測試過程中，可直接調用，只需簡單設置測試參數即可。軟件支持測試數據顯示，以及曲線繪制。測試完畢 后，可將數據以及曲線導出保存。
靈活可定制化的夾具方案
針對市面上不同封裝類型的半導體器件產品，普賽斯提供整套夾具解決方案。夾具具有低阻抗、安裝簡單、種類豐富等特點，可 用于二極管、三極管、場效應晶體管、IGBT、SiC MOS、GaN等單管，模組類產品的測試；也可與探針臺連接，實現晶圓級芯片 測試。
不同封裝類型的夾具
產品選型
低壓直流I-V源測量單元
| 型號 | 精度 | 最大電壓量程 | 最小電壓量程 | 最小電壓分辨率 | 最大電流量程 | 最小電流量程 | 最小電流分辨率 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-S100 | 0.1% | 30V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S200 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S300 | 0.1% | 300V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S100B | 0.03% | 30V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
| SPA-S200B | 0.03% | 100V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
| SPA-S300B | 0.03% | 300V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
低壓脈沖I-V源測量單元
| 型號 | 精度 | 最大電壓量程 | 最小電壓量程 | 最小電壓分辨率 | 最大電流量程 | 最小電流量程 | 最小電流分辨率 | 最小脈沖寬度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-P100 | 0.1% | 30V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脈沖） | 100nA | 10pA | 200μs |
| SPA-P200 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脈沖） | 100nA | 10pA | 200μs |
| SPA-P300 | 0.1% | 300V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脈沖） | 100nA | 10pA | 200μs |
| SPA-P100B | 0.03% | 30V | 300mV | 30μV | 4A(直流) / 30A(脈沖) | 100nA | 1pA | 200μs |
| SPA-P200B | 0.03% | 100V | 300mV | 30μV | 4A(直流) / 30A(脈沖) | 100nA | 1pA | 200μs |
| SPA-P300B | 0.03% | 300V | 300mV | 30μV | 4A(直流) / 30A(脈沖) | 100nA | 1pA | 200μs |
高壓I-V源測量單元
| 型號 | 精度 | 最大電壓量程 | 最小電壓量程 | 最小電壓分辨率 | 最大電流量程 | 最小電流量程 | 最小電流分辨率 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-E100 | 0.1% | 1200V | 100V | 10mV | 100mA | 1μA | 100pA |
高流I-V源測量單元
| 型號 | 精度 | 最大電壓量程 | 最小電壓量程 | 最小電壓分辨率 | 最大電流量程 | 最小電流量程 | 最小電流分辨率 | 最小脈沖寬度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-HCP100 | 0.1% | 50V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/30A（脈沖） | 100nA | 10pA | 80μs |
| SPA-HCP200 | 0.1% | 50V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/30A（脈沖） | 100nA | 10pA | 80μs |
| SPA-HCP300 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/100A（脈沖） | 100nA | 10pA | 80μs |
電容測量單元
| 型號 | 測試頻率 | 測試點數 | 頻率分辨率 | 頻率輸出精度 | 基本精度 | 內部直流偏置信號 | 可測參數與量程 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-C100 | 10Hz-1MHz | 可編程 | 5 位 | ±0.1% | ±0.5% | 10mV to 2V (1mV 分辨率) / 100uA-20mA | ｜Z｜ , R, X 0.001mΩ-99.999MΩ ｜Y｜ , G, B 0.1nS-99.999S Cs Cp 0.01pF-9.9999F |
*以上規格如有更新，恕不另行通知。
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